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商品名稱:3D輪廓測量儀OV-SPI500
 
 3D輪廓測量儀OV-SPI500
  商品編號: 2013181615
  商品規格:
  商品品牌: K-MAC
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產品規格

掃描范圍 100㎛ (范圍可以擴大到300㎛)
掃描速度 10㎛/sec (在不移動的情況下)
垂直分辨率 0.1nm
橫向分辨率 0.2㎛ at 50X Lens (像素分辨率)
可測量面積

940㎛ X 710 (5X 透鏡)

晶片尺寸 4"-12"
3D CCD

8 bit

透鏡 10X,20X,50X
可選部分

可測量膜厚

產品特征

白光干涉法
表面輪廓、折射率、厚度一體測量
非接觸&非破壞
2D&3D圖像
實時測量
LED光適用
亞納米級垂直分辨率
ROI creation

應用領域

半導體晶片
液晶產品(CS、LGP、BIU)
微機電系統
光纖產品
數據存儲盤(HDD、DVD、CD)
材料研究
精密加工表面
生物醫學工程

 
自動控制顏色測量系統 SCM6000
掃描電鏡EM-30
便攜式可見分光光度計Lab Junior
掃描電鏡EM-20
薄膜厚度測量儀ST5030-SL 自動型(含PC)
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